FMR -40
1、 特性
1)FMR是负性感光抗蚀剂,有较好的耐酸性;
2)FMR的解像性比较好,由于抗蚀剂中的金属离子含量极少,所以适合于半导体管(电晶体)、二极管、IC(集成电路)和LSI(大规模集成电路)等方面使用;
2、 使用方法
1)表面处理:用天那水对金属板进行完全的脱脂处理;
2)涂布处理:旋转式涂布、浸蘸、喷涂等;
3)烘干:置入干燥箱中,80-100℃,20分钟;
4)曝光:用晒版机贴合菲林片曝光;
5)显影:使用FMR显像液,在常温下显影1分钟,用FMR清洗剂冲洗30秒;
6)烘烤:在150℃的情况下,加热20-30分钟,提高耐腐蚀性;
7)腐蚀:用腐蚀水腐蚀40秒左右;
8)脱膜:使用FMR脱膜液,在常温下浸2-3分钟,然后用水洗;
3、 包装:1L/罐 2L/罐
1L/罐 白罐 ,2L/罐 绿罐